このページではSigrayが提供する産業用CTについて、特徴や主要製品のスペックをご紹介します。
| 基本仕様(Apex XCT シリーズ) | ||
|---|---|---|
| X線管 | 最大150kV / 160kV 高輝度X線源(モデルにより異なる) | |
| 最大サンプルサイズ | 直径 300mm(ウェハーや大型基板に対応) | |
| スキャン方式 | 斜交型CT(ラミノグラフィ) ※ハイブリッドモデルは直交型にも対応 |
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| 空間分解能 | サブミクロン | |
| ディテクター | 高解像度フラットパネルディテクター | |
| 主な用途 | 半導体、バッテリー、複合材料などの非破壊検査・解析 | |
米国カリフォルニア州に拠点を置くX線装置メーカーです。特許技術である高輝度X線光源と高度な光学系を組み合わせ、研究開発から産業用途まで、高解像度かつスピーディーな検査環境を提供します。
特に、大型サンプルを破壊せずに検査できる技術は、半導体や材料科学の分野で多くの研究機関や品質管理現場に採用されています。
当メディアでは産業用CTを取り扱うメーカーを独自視点で調査し、ピックアップして紹介しています。導入の検討材料として、こちらも合わせてご確認ください。
Apex XCTシリーズの強みは、独自の斜交型X線(ラミノグラフィ)技術です。従来は中心部を詳細に見るために切り出す必要があった大型基板やウェハーも、最大300mmまで切断せずに非破壊のままサブミクロンで内部観察が可能です。
SigrayはX線光学の専門家たちによって設立されました。独自開発のX線ミラーやキャピラリレンズを用いることで、小さなスポット径と高いX線強度を両立。これにより、微細な半導体パッケージから複合材料まで、鮮明な3D画像を取得できます。
特許取得済みのFAAST™(Fine Anode Array Source Technology)光源により、高輝度なX線照射を実現しています。
これにより、スキャン時間の短縮とS/N比の向上が期待でき、複雑な内部構造を短時間で可視化できるため、ワークフローの効率化に貢献します。
| 会社名 | Sigray |
|---|---|
| 所在地 | 5500 E 2nd Street, Benicia, CA 94510, USA |
| 電話番号 | 925-446-4183 |
| 設立 | 2013年 |
| URL | https://sigray.com/ |

| 最大管電圧 | 100kV |
|---|---|
| 撮影サイズ※1 | Φ151×H63~82mm |
| 耐荷量 | 約10kg |
| 本体サイズ | 623×310×300mm |

| 最大管電圧 | 225kV |
|---|---|
| 撮影サイズ※1 | Φ615×H800mm |
| 耐荷量 | 50kg |
| 本体サイズ | 3700×1810×2440mm |

| 最大管電圧 | 450kV |
|---|---|
| 撮影サイズ※1 | Φ600×H800mm |
| 耐荷量 | 100kg |
| 本体サイズ | 2250×1770×2350mm |
電話番号は公式サイトに記載がありません
※1:撮影サイズについては、NAOMi-CT・UX50は「最大スキャンサイズ」、ZEISS METROTOMは「精度保証条件下での測定範囲」を掲載しています。
※数値はいずれも撮影・測定条件により変動しますので、詳しくは各社にお問い合わせください。
※2:NAOMi-CTは、Mサイズ、Lサイズ、スライドLの3種類があります。