産業用CTを導入する際、装置の性能を大きく左右するのが「X線検出器(ディテクタ)」です。カタログ等で目にする「フラットパネル(FPD)」や「イメージインテンシファイア(I.I.)」にはそれぞれ異なる特徴があり、検査対象に合わせて適した方式を選ぶ必要があります。
本記事では、X線検査において解像度や撮影速度等の性能を決定づける検出器の種類と選び方について解説します。
産業用CTにおけるX線検出器は、X線発生器から照射されて検査対象物を透過したX線を捉え、電気信号に変換して画像データを生成する重要な役割を担っています。
検査対象の材質や厚みによって、X線の透過量は異なります。検出器は、この透過したX線の強弱を検出し、内部構造を濃淡画像として可視化する基本原理を持っています。つまり、対象物の透視画像や断面画像を作り出すための「目」として機能する部品だといえるでしょう。
現在、産業用CTやX線検査装置で主流となっている代表的なX線検出器には、いくつかの方式が存在します。それぞれの特徴を把握し、自社の検査目的に応じて適切なものを選択することが欠かせません。
周辺部のゆがみがなく、ダイナミックレンジが広いため高画質での撮影が可能な検出器です。視野全体で高精細・高コントラストな画像が得られる特性から、微小な欠陥や電子基板などの詳細な観察に最も適しているといえます。さらに近年では、1,000万画素を超える高精細なFPDを搭載したモデルも登場しており、広い視野を保ったまま微細な構造をより鮮明に捉えることが可能になりました。
応答速度が速くリアルタイム透視に向いている方式です。リアルタイムでの動画観察や高速スキャンに優れており、インライン検査などでタクトタイムが求められる場面で有効に働きます。一方で、構造上どうしても画像の周辺部にゆがみが生じる性質がある点を理解しておく必要があります。
面ではなく「線(ライン)」でX線を検出して画像を繋ぎ合わせる方式を採用しています。この仕組みにより散乱線の影響を排除しやすく、高密度・大型部品の断面取得において真価を発揮します。そのため、大型の自動車部品や長尺物の検査に適しており、ノイズの少ないクリアな断面画像を得たい場合に大きなメリットをもたらすでしょう。
X線検出器の選定において「絶対にこれが良い」という単一の正解はありません。検査対象(素材、大きさ)と目的(高画質か速度か)のバランスから適切な検出器を選ぶことが重要です。
微細な欠陥解析には「FPD」、高速なインライン検査には「I.I.」、大型部品や高密度材料には「ラインセンサ」といったように、対象物のサイズや材質、検査の優先事項(画質かスピードか等)を見極めて適切な検出器を選択することが、精度の高い品質保証に直結します。

| 最大管電圧 | 100kV |
|---|---|
| 撮影サイズ※1 | Φ151×H63~82mm |
| 耐荷量 | 約10kg |
| 本体サイズ | 623×310×300mm |

| 最大管電圧 | 225kV |
|---|---|
| 撮影サイズ※1 | Φ615×H800mm |
| 耐荷量 | 50kg |
| 本体サイズ | 3700×1810×2440mm |

| 最大管電圧 | 450kV |
|---|---|
| 撮影サイズ※1 | Φ600×H800mm |
| 耐荷量 | 100kg |
| 本体サイズ | 2250×1770×2350mm |
電話番号は公式サイトに記載がありません
※1:撮影サイズについては、NAOMi-CT・UX50は「最大スキャンサイズ」、ZEISS METROTOMは「精度保証条件下での測定範囲」を掲載しています。
※数値はいずれも撮影・測定条件により変動しますので、詳しくは各社にお問い合わせください。
※2:NAOMi-CTは、Mサイズ、Lサイズ、スライドLの3種類があります。